图片展示
图片展示

深圳市诺林电子科技有限公司

Shenzhen Nuolin Electronic Technology Co.,ltd

LED手动型曝光机的分类特性

作 者:诺林电子     关注:1487     发表时间:2017-09-11 18:56:00 来源:原创

LED手动型曝光机​是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备.

[ LED手动型曝光机 ]是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备.曝光机即电子束曝光机是集电子光学,电气,机械,真空,计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备.广泛应用于半导体,微电子,生物器件和纳米科技领。葡京集团App


 

LED曝光机一般根据操作的简便性分为三种,手动,半自动,全自动

 

A自动: 指的是从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

 

B手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;

 

C半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;

[LED手动型曝光机]对光源系统的要求

a.有适当的波长.波长越短,可曝光的特征尺寸就越小;波长越短,就表示光刻的刀锋越锋利,刻蚀对于精度控制要求越高,因为衍射现象会更严重.

 

b。曝光能量必须均匀地分布在曝光区.一般采用光的均匀度或者叫不均匀度光的平行度等概念来衡量光是否均匀分布,常用的紫外光光源是高压弧光灯(高压汞灯),高压汞灯有许多尖锐的光谱线,经过滤光后使用其中的g 线(436 nm)或i 线(365 nm).

 

c.有足够的能量.能量越大,曝光时间就越短;


葡京集团App

 

对于波长更短的深紫外光光源,可以使用准分子激光.例如KrF 准分子激光(248 nm),ArF 准分子激光(193 nm)和F2准分子激光(157 nm)等.葡京集团App

曝光系统的功能主要有:平滑衍射效应,实现均匀照明,滤光和冷光处理,实现强光照明和光强调节等.




葡京集团App

 

[LED手动型曝光机]性能指标:葡京集团App

手动型曝光机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率,对准精度,曝光方式,光源波长,光强均匀性,生产效率等.葡京集团App


 

对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度.曝光方式分为接触接近式,投影式和直写式。

曝光光源波长分为紫外,深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等.


 葡京集团App

分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式.光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源,光刻系统,光刻胶和工艺等各方面的限制.





 

版权深圳市诺林电子科技有限公司 如涉及版权问题请及时联系处理

环保节能型产品LED曝光机,10KW双面曝光机,8KW双面曝光机,5KW风冷型曝光机,手动型干膜压膜机葡京集团App

欢迎访问深圳市诺林电子科技有限公司( http://shouyou84.com/葡京集团App )

 


图片展示

公司名称:深圳市诺林电子科技有限公司

手机:13316823280

电话:0755—61513569 

传真:0755—23225589

邮箱:yazhen2001@163.com

公司地址:深圳市宝安区沙井万丰中路234-1栋创辉工业园07号


葡京集团App

企网简介|发展历程|企业资讯|加入企网|联系企网

图片展示
图片展示

粤ICP备16122330号-1

Copyright © 2017 深圳市诺林电子科技有限公司